出自匈奴王族姓氏，以最高首领冠称为氏。历史上匈奴族的最高首领称为“撑犁孤涂单于”（字意为“天子广大”，意为称颂首领的权力是神授的，他们应拥有天子的广大辽阔的尊敬及势力），简称为单于，他们的后代中有以“单于”为姓氏的，称单于氏。
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